• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性与可重复性。

• 灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案，确保大批量处理的均匀性。

• 精准安全的反应源供应系统，可满足多种工艺需求。

• PLC与工控机提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现。

• 系统稳定可靠，易于保养与维护。

Triton-160 产能数据对比（以4寸晶圆为例）

• 已在LED行业，芯片封装行业大规模投入量产。

• 产品本体的产能，均匀性都高度提升，达到36片每炉，炉内均匀性可达80%以上。

• 设备的整体设计紧凑，占地面积和以往的传统设备相比，可以减少20%以上。

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       此篇，Triton-160 作为JET PLASMA的首要设备介绍，而在稍后，我们会介绍我们其它专业产品线的设备，以及其设备已在合作客户领域的的成功操作案例。

       JET PLASMA 更高效、更环保技术一等离子体正在为更多产品带来表面的改变。创新、高效、紧密服务于各领域的专业用户。我们是专业的等离子体应用整体解决方案提供商，为您的产品带来改变！