Triton 160是面向工业级客户使用需求设计的等离子共形涂层设备，适用于各种功能材料大批量涂层应用，在严苛环境下延续稳固运行并能保持统一化的等离子沉积结果。 

Triton 160通过优化的体系设计与天真的体系配置方案，实现功能材料的快速、大面积均匀沉积。

Triton 160配备有温控、液态源输送体系、自力压力控制单元等扩展组件可供选择，为客户提供完美的等离子批量沉积方案。

设备特点

●13.56MHz射频电源与主动匹配体系，具有优秀的稳固性与可重复性。

●优化的气体馈入与分布设计，提供良好的处理均匀性。

●可天真设置的电极及电极的实时可控，知足功能材料的大面积可控沉积。

●精准安全的液态源供给体系，知足不同功能材料的快速大面积沉积。

●PLC与工控机提供稳固的过程控制，设备运行的实时参数通过表现屏直观呈现。

●体系设置多级管理权限，集简易的操作体验与严谨的工艺管控与一体。

应用领域

功能材料沉积 

●防水功能材料沉积：用于PCB外观轻质防水耐腐蚀封装；可穿戴设备的外观防水薄膜。

●耐腐蚀材料沉积：医疗电子芯片外观腐蚀涂层；医疗器械外观生物相容性薄膜及耐腐蚀薄膜

外观活化

●提拔外观能，实现难粘材料的有用结合

●加强外观胶体流动性，消弭涂敷过程中的空洞

外观粗化与微刻蚀

●纳米级外观粗化，减小外观应力

●对多种材料的选择性刻蚀

尺寸

功率电极尺寸