易能纳米-一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装配

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2022-08-08 13:29:12

择要：本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装配，它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的周围侧壁上，转臂的一端与气缸的活塞杆铰接，锁扣件连接于转臂的另一端；气动锁紧装配还包括驱动气缸的活塞杆活动的驱动装配、向驱动装配发送控制指令的中间控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中间控制器发出信息的感应器。本实用新型结构简单，其结构轻便而简单，适用于各种机型的真空镀膜机的真空炉；采用了气缸伸缩及主动控制结合的方式，免除人工手动操作，结构简单可靠，操作方便，进步生产服从，且削减了人员开关风门的劳动强度，增长了安全系数。
申请人：广东易能纳米科技有限公司
地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人：肖桥兵
主分类号： C23C14/56(2006.01)I
分类号： C23C14/56(2006.01)I

择要：本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装配，它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的周围侧壁上，转臂的一端与气缸的活塞杆铰接，锁扣件连接于转臂的另一端；气动锁紧装配还包括驱动气缸的活塞杆活动的驱动装配、向驱动装配发送控制指令的中间控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中间控制器发出信息的感应器。本实用新型结构简单，其结构轻便而简单，适用于各种机型的真空镀膜机的真空炉；采用了气缸伸缩及主动控制结合的方式，免除人工手动操作，结构简单可靠，操作方便，进步生产服从，且削减了人员开关风门的劳动强度，增长了安全系数。

申请人： 广东易能纳米科技有限公司

地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室

发明(设计)人： 肖桥兵

主分类号： C23C14/56(2006.01)I

分类号： C23C14/56(2006.01)I

法律状况

2016-09-28	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装配，其特性在于：它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的周围侧壁上，转臂的一端与气缸的活塞杆铰接，锁扣件连接于转臂的另一端；气动锁紧装配还包括驱动气缸的活塞杆活动的驱动装配、向驱动装配发送控制指令的中间控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中间控制器发出信息的感应器。

公开号	205603668U

公开日	2016-09-28

专利代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215

代理人	何树良

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

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