荣坚五金-一种磁场微波放电等离子体聚合外观涂层装配及方法

WaterOff

2022-08-08 13:49:33

择要：	本发明一种磁场微波放电等离子体聚合外观涂层装配及方法，属于等离子体技术领域。该装配中，在真空室的顶部或侧面安装圆柱形放电腔；放电腔外部安装电磁线圈或永世磁铁；放电腔阔别真空室的一端安装有微波源，在真空室内放置待处理的基材；通入载体气体和单体蒸汽；微波源产生的微波在放电腔内与电磁线圈或永世磁铁的磁场共同作用发生放电，使单体发生聚合并沉积在基材外观形成聚合物涂层，微波源延续输出微波进行等离子身形聚合外观涂层，微波源断续输出微波进行等离子体引发聚合外观涂层。通过本发明的装配及方法通入的载体气体压力低，单体扩散优秀，从而使得制备的等离子体聚合外观涂层更加均匀。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	B05B5/10(2006.01)I
分类号：	B05B5/10(2006.01)I B05B5/08(2006.01)I B05D1/00(2006.01)I
法律状况	实质审查的生效 IPC(主分类):B05B 5/10申请日:20161130
2016/11/9	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
主权项	一种磁场微波放电等离子体聚合外观涂层装配，其特性在于：在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2)；放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永世磁铁；放电腔(2)阔别真空室的一端安装有微波窗口(4)，微波窗口(4)与微波波导(5)一端连接，微波波导(5)另一端连接微波源(6)；载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8)，另一端连接放电腔(2)，并在放电腔(2)阔别真空室(1)的一端开口；单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10)，另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口；真空排气管(11)设置在真空室(1)阔别放电腔(2)的一侧，且连接真空泵(12)。

公开号	106622715A

公开日	2017-05-10

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权	2016.08.30 CN 2016107983722

国际申请

国际宣布

进入国家日期