HZO-用于将材料引入材料处理体系的托架体系

WaterOff

2022-08-08 13:54:07

择要：本发明公开了一种用于将材料引入材料处理体系的托架体系。在各个特性方面和实施例中，本公开涉及用于容纳并保持前驱物材料的托架体系。托架体系可以用于材料处理体系内以用于在衬底上形成珍爱涂层。托架体系可以包括包含多个容座的托架。托架体系可以还包括多个杯体，配置每个杯体以可移除地位于托架的容座内。
申请人： HZO股份有限公司
地址：美国犹他
发明(设计)人： J·登普斯特 J·梅纳德
主分类号： C23C14/26(2006.01)I
分类号： C23C14/26(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

择要：本发明公开了一种用于将材料引入材料处理体系的托架体系。在各个特性方面和实施例中，本公开涉及用于容纳并保持前驱物材料的托架体系。托架体系可以用于材料处理体系内以用于在衬底上形成珍爱涂层。托架体系可以包括包含多个容座的托架。托架体系可以还包括多个杯体，配置每个杯体以可移除地位于托架的容座内。

申请人： HZO股份有限公司

地址： 美国犹他

发明(设计)人： J·登普斯特 J·梅纳德

主分类号： C23C14/26(2006.01)I

分类号： C23C14/26(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律状况

2015-09-30	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/26申请日:20150302

2015-09-02	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种用于保持前驱物材料的托架体系，包括：托架，其包括多个区段，所述多个区段中的每个区段包括容座；以及多个杯体，其用于保持前驱物材料，其中所述多个杯体中的每一个杯体配置成位于所述托架的所述多个区段中的一区段的容座内。

公开号	104878349A

公开日	2015-09-02

专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人	张涛

颁证日

优先权	2014.03.01 US 61/946,709;2014.07.29 US 14/445,628

国际申请

国际宣布

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