HZO-优化通过材料沉积设备的前驱材料的蒸发的船形器皿

WaterOff

2022-08-08 13:56:12

择要：根据本发明的船形器皿包括被布置用以限制具有内部的容器的基底和侧壁。船形器皿的底部可具有凸构形。在特定实施例中，基底可具有凸构形，诸如圆柱的弯曲外观的一部分的外形，端壁位于基底的相对端处。这种船形器皿可具有月牙形构形。每个船形器皿可被构形为靠着另一个船形器皿放置，使得能够组装多组船形器皿。还公开了容纳并有用地增长前驱材料的外观积的多单元结构。多单元结构可被构形为在船形器皿的内部中使用，或单独使用，而没有单独的船形器皿。还公开了被构形为容纳船形器皿和/或多单元结构的蒸发腔和材料沉积设备，以及用于将前驱材料引入材料沉积设备中的方法。
申请人： HZO股份有限公司
地址：美国犹他
发明(设计)人： J·登普斯特 J·梅纳德
主分类号： A99Z99/00(2006.01)I
分类号： A99Z99/00(2006.01)I

择要：根据本发明的船形器皿包括被布置用以限制具有内部的容器的基底和侧壁。船形器皿的底部可具有凸构形。在特定实施例中，基底可具有凸构形，诸如圆柱的弯曲外观的一部分的外形，端壁位于基底的相对端处。这种船形器皿可具有月牙形构形。每个船形器皿可被构形为靠着另一个船形器皿放置，使得能够组装多组船形器皿。还公开了容纳并有用地增长前驱材料的外观积的多单元结构。多单元结构可被构形为在船形器皿的内部中使用，或单独使用，而没有单独的船形器皿。还公开了被构形为容纳船形器皿和/或多单元结构的蒸发腔和材料沉积设备，以及用于将前驱材料引入材料沉积设备中的方法。

申请人： HZO股份有限公司

地址： 美国犹他

发明(设计)人： J·登普斯特 J·梅纳德

主分类号： A99Z99/00(2006.01)I

分类号： A99Z99/00(2006.01)I

法律状况

2015-12-23	实质审查的生效IPC(主分类):A99Z 99/00申请日:20140729

2015-11-25	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种材料沉积设备，包括：蒸发腔，其包括用于容纳至少一个船形器皿的凹外观；以及至少一个船形器皿，其用于将前驱材料引入蒸发腔中，所述至少一个船形器皿包括被构形为与蒸发腔的凹外观互补的凸外观。

公开号	105102087A

公开日	2015-11-25

专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人	张涛

颁证日

优先权	2014.03.01 US 61/946,709;2014.07.29 US 14/445,628

国际申请	2014-07-29 PCT/US2014/048602

国际宣布

进入国家日期	2014.11.12