昆山彰盛奈米-硅胶线缆表面真空镀膜机

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2022-08-08 14:05:22

摘要：本实用新型公开了一种硅胶线缆表面真空镀膜机，包括真空室、预抽室、卷放装置和卷收装置，预抽室包括分别设置在真空室上、下游的上、下游预抽室，在与卷放装置相邻的上游预抽室的前端设有线缆入口，在与卷收装置相邻的下游预抽室的后端设有线缆出口；镀膜机工作时，待涂覆的线缆由卷放装置释放出并通过线缆入口和挡板上的开口进入预抽室和真空室，线缆在真空室内时，涂层材料在线缆表面聚合而形成涂层，已形成有镀膜的线缆通过开口和线缆出口离开真空室和预抽室，并被卷收装置接纳。本实用新型使得Parylene材料涂覆由间歇式单炉沉积改为连续式沉积，大大提高了镀膜效率。
申请人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇杨家路9号
发明(设计)人：徐志淮
主分类号： C23C14/56(2006.01)I
分类号： C23C14/56(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

摘要：本实用新型公开了一种硅胶线缆表面真空镀膜机，包括真空室、预抽室、卷放装置和卷收装置，预抽室包括分别设置在真空室上、下游的上、下游预抽室，在与卷放装置相邻的上游预抽室的前端设有线缆入口，在与卷收装置相邻的下游预抽室的后端设有线缆出口；镀膜机工作时，待涂覆的线缆由卷放装置释放出并通过线缆入口和挡板上的开口进入预抽室和真空室，线缆在真空室内时，涂层材料在线缆表面聚合而形成涂层，已形成有镀膜的线缆通过开口和线缆出口离开真空室和预抽室，并被卷收装置接纳。本实用新型使得Parylene材料涂覆由间歇式单炉沉积改为连续式沉积，大大提高了镀膜效率。

申请人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇杨家路9号

发明(设计)人： 徐志淮

主分类号： C23C14/56(2006.01)I

分类号： C23C14/56(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律状态

2015-03-11	授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种硅胶线缆表面真空镀膜机，其特征在于，所述硅胶线缆表面真空镀膜机包括：?真空室，所述真空室设有用于接收涂层材料的原料入口，且所述真空室设有与真空泵相连的抽气口；?预抽室，所述预抽室包括设置在真空室上游的上游预抽室和设置在真空室下游的下游预抽室，所述上游预抽室和下游预抽室可分别包括一级或多级预抽室，所述预抽室均设有与真空泵相连的预抽口，相邻的真空室和预抽室之间以及相邻的两个预抽室之间设有挡板且所述挡板上设有供线缆通过的开口；和卷放装置和卷收装置，所述卷放装置设置在所述上游预抽室的上游，所述卷收装置设置在所述下游预抽室的下游，在与所述卷放装置相邻的上游预抽室的前端设有线缆入口，在与所述卷收装置相邻的下游预抽室的后端设有线缆出口；其中，?所述镀膜机工作时，待涂覆的线缆由所述卷放装置释放出并通过所述线缆入口和所述挡板上的开口进入所述预抽室和所述真空室，所述线缆在所述真空室内时，所述涂层材料在所述线缆表面聚合而形成涂层，已形成有镀膜的线缆通过所述开口和所述线缆出口离开所述真空室和预抽室，并被所述卷收装置接纳。?

公开号	204198847U

公开日	2015-03-11

专利代理机构	上海一平知识产权代理有限公司 31266

代理人	蔡继清崔佳佳

颁证日

优先权

国际申请

国际公布

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