优普莱-一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置

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2022-08-08 14:08:07

摘要：本发明公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。
申请人：深圳优普莱等离子体技术有限公司
地址： 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601
发明(设计)人：邬钦崇邬明旭全峰
主分类号： H05H1/46(2006.01)I
分类号： H05H1/46(2006.01)I

摘要：本发明公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。

申请人： 深圳优普莱等离子体技术有限公司

地址： 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601

发明(设计)人： 邬钦崇邬明旭全峰

主分类号： H05H1/46(2006.01)I

分类号： H05H1/46(2006.01)I

法律状态

2017-06-09	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46申请日:20170320

2017-05-17	公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，其特征在于：包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，有介质制成的管穿过H面，矩形波导的另一端的H面的中轴线上开一个圆孔安装磁控管，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接，进气口通过O形胶圈与气路系统的输气管道相连接，介质管的另一端通过密封法兰和O形胶圈与真空室形成真空密封连接。

公开号	106686876A

公开日	2017-05-17

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