1.真空室
　　涂层设备重要有延续涂层生产线及单室涂层机两种情势，不锈钢材料制造、氩弧焊接、外观进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

  2.真空获得部分
在真空技术中，真空获得部分是紧张组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵体系等。

 

 

 

  5.工艺气体输入体系
　　工艺气体，如氩气(Ar)、氪气(Kr)、氮气(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一样平常均由气瓶供给，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入体系的好处是，管路简捷、明快，维修或替换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的益处是，削减气瓶占用量，同一规划、同一布局。瑕玷是，因为接头增多，使漏气机会增长。而且，各涂层机之间会互干系扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，替换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状况。

 

 

 

 

 

  9.水冷体系
一样平常由冷水塔，冰水机，水泵等组成。

  10.工控体系

二、常见的真空检漏方法

  该技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，因为检漏服从高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体系方式成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气体系及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内往返地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中最常用的两种方法。

 

  将真空泥逐个封住可疑漏点，详细观察真空度的转变，如果贴上真空封泥真空度提拔很快，取掉有显明降落，说明这是一个漏点。这种方法在现实应用中，采用的比较少。

  有些真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一样平常镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很细心。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。

 

  这种方法仅适用于玻璃真空体系。先将体系抽成真空，高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃外观移动，火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。

 

 

 

 

通过以下几个反

一、化学清洗:

 

 

  图 1 氧等离子体去除有机物

 

从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属外观氧化层，清洁金属外观。

二、物理清洗： 

 例：Ar＋e-→Ar++2e-Ar++沾污→挥发性沾污

图 3 氩等离子体外观能活化

 

四、为什么加热能改善膜层附着力？

 

 任何固体材料在大气环境下都会消融和吸附一些气体，当材料置于真空状况时就会由于脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料外观解吸的气体、材料内部向外观扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，由于货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的外观。以不锈钢为例，除了在它外观吸附的气体之外，在赓续的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在每每对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。