一、湿式清洗

喷淋清洗
在清洗槽内安装喷淋管，在气相中将清洗液喷洒在被清洗物上的清洗方式。压力可调 。

减压清洗
在清洗槽内产生负压，因为减压，洗涤剂能较好地渗透到被清洗物和缝隙之间；和超声波并用，清洗结果会大大加强。

喷雾清洗
在清洗槽内安装喷淋管，在气相中将清洗液喷洒在被清洗物上的清洗方式。压力可调 。

旋转筒清洗
在清洗槽内安装旋转装配，同时旋转筒体和搅拌被清洗物。多与喷流、超声波清洗组合使用。

动摇清洗
在清洗槽内安装动摇机构，装入被清洗物，使之在清洗槽内活动，多与喷流、超声波清洗组合使用。

一．真空加热清洗

二．紫外线辐照清洗

三．放电清洗

 四.气体冲洗

      氮气在材料外观吸附时，因为吸附能小，因而吸留外观时间极短.即便吸附在器壁上，也很容易被抽走。行使氮气的这种性子冲洗真空体系，可以大大缩短体系的抽气时间。如真空镀膜机在放入大气之前，先用干燥氮气充入真空室冲刷一下再充入大气，则下一抽气循环的抽气时间可缩短近一半，其缘故原由为氮分予的吸附能远比水气分子小，在真空下充入氮气后，氮分子先被真空室壁吸附了。因为吸附位是肯定的，先被氮分子占满了，其吸附的水分子就很少了，因而使抽气时间缩短了。假如体系被扩散泵油喷溅污染了，还可以行使氮气冲洗法来清洗被污染的体系.一样平常是一边对体系进行烘烤加热，一边用氮气冲洗体系，可将油污染消弭。

      这种方法分外适用于大型超高不锈钢真空体系的内部洗(去除碳氢化合物污染)。通常对于某些大型超高真空体系的真空室和真空元件，为了获得原子态的清洁外观，消弭其外观污染的标准方法是化学清洗，真空炉焙烧、辉光放电清洗及原能烘烤真空体系等方法。以上的清洗和除气方法常用于真空体系安装前及装置期间。在真空体系安装后(或体系运行后)，因为真空体系内的各种零部件已经被固定，这时对它们进行除气处理就很困难，一旦体系受到(无意)污染(重要是大原子数的分子如碳氢化合物的污染)，通常要拆卸后重新处理再安装．而用反应气体工艺，可以进行原位在线除气处理．有用地除去不锈钢真空室内的碳氢化合物的污染.其清洗机理：在体系中引述氧化性气体(O2、N0 )和还原性气体(H2、N H3)对金属外观进行化学反应清洗，消弭污染，以便获得原子态的清洁金属外观。外观氧化／还原的速率取决于污染的情况及金属外观的材质，外观反应速率的大小通过调整反应气体的压力和温度来控制。对于每一种基材而言，正确的参数要通过实验来确定.对于不同的结晶取向，这些参数是不同的．

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