派瑞林(parylene)On-line在线薄膜厚度检测方案

WaterOff

2018-03-17 08:18:08

简介

优尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月，注册于中国香港，是翌颖科技(上海)有限公司的子公司。

翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一销售服务，技术支持，备件管理和咨询服务。

Filmetrics全球最大方案推广商，全球唯一具备方案定制，改造升级，本土化维护，与备件库的方案提供商，是Filmetrics 中国区售后服务中心

什么是Parylene ?

聚对二甲（Poly－para－ xylylene；简称（ parylene）是一种高分子聚合物，在中国又称为＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美国 Union Carbide Co．开发应用的一种新型敷形涂层材料根据分子结构的不同， Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。

常用派瑞林材料基本特性

(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉强30%,耐电压低于N粉, C粉适用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐电压高防水, 防腐性能低于C粉, 适用于微型电机矽钢片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐电压都比C-N粉各项性能提高了15%左右, 是在C-N粉基础上提升起来的,己经代替了C-N粉生产用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外线强应用于户外产品, 材料成本偏高客户暂时很难接受单价.

什么是Parylene C?

Parylene C 是系列中第二个具有商业价值的成员。它由相同的单体制成，只是将其中一个芳香烃氢原子用一个氯原子所取代了。

综合了优良的介电性能和物理机械性能，对潮湿和腐蚀性气体有最低的渗透性。

可以提供真正的无针孔覆形隔离。满足美军标MIL-46058C,是涂敷重要电路板的首选材料。符合ISO-10993生物试验要求。符合UDP第六类塑料的生物试验要求.

Parylene 特性

Parylene沈积可以经由活泼的单体（ monomer）气体，聚合于物体表面上，而不同于一般常见经由液体涂层的方法制备。

其活性分子在被涂装的对象表面生成完全披覆的聚合物薄膜，可涂装到任何形状的表面面，且不产生死角，包括括尖锐的棱角、隙缝内部与极细微的针孔中，

膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位，薄膜厚度由1um－50um，是世界最薄的涂装之一。

Parylene 行业应用

Parylene制程工艺介绍

Parylene采用化学气相沉积工艺（CVD）。

配积过程分为三步骤：
1．真空条件下, 以120℃将固态粉末状的对二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;

2．以650℃ 将气态的对二甲苯的二聚物 ,裂解为对二甲苯 (para-xylylene) 的活性单体(monomer);

3．气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

Parylene 制程设备生产管控三要素

Parylene 产品不良的3种特征

Parylene 行业的龙头

日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收购美国特种涂层公司Specialty Coating Systems(SCS)。

两家同为行业知名品牌，吉世科在聚对二甲苯市场已深耕18年，在材料科学与研发上拥有很深的背景，而SCS与聚对二甲苯的诞生颇有渊源，

是全球聚对二甲苯市场的领先销售商。

生产过程中容易出现的问题及监管

问题：

1 .镀膜过程材料分解纯度不够（缸体内压力控制，到时厚度均匀性差
2. 材料在缸体停留时间过长，导致产品发白
3. 产品缸内摆涉及原材料气相流动，也会对产品的厚度均匀性产生影响
4. 生产过程中堵缸，产品膜厚不增长
5. 挡风板结构设计很重要，不合理会残留材料会导致送料管堵塞

温度，压力管控、厚度在线监控

产品发白，发蓝，产品附着力差、膜厚不均匀.

Filmetrics –在线测量的优势

快、准、省

无损，非接触式测量、预警

1.生产产品过程监控—实时反馈生产数据，提高产品品质
2.提高生产效率— 设定生产指标，报警提示
3.节省材料成本— 缩小产品指标公差，材料节省可见
4.减少人工成本— 监控室直接在线数据监管
5.堵缸、停缸监控— 节省材料，与人工挽救不良率
6.给产品设定精确的厚度范围
7.方便不同产品工艺的调整

8.经过客户实际生产测算，7个缸体工作，一年节省15%~50% 材料与人工支出,良品率的提升由56% 提升到 86~95%.

Filmetrics –生产过程在线监控与测量的生产线布置示意图