上期介绍的真空泵是获得真空状况的工具，但是怎么知道真空度达到了什么水平呢？这个就要靠真空的测量工具——真空计。下面跟小编来熟悉一下真空计吧。

绝对真空计

直接测量真空度的量具，如U型计、压缩真空计(麦克劳真空计)。

相对真空计

直接测量与压强有关的物理量，再与绝对真空计相比较进行标定的真空计。

热偶真空计(热传导真空计)

测量范围：100-10-1Pa

测量下限：热丝温度较高，气体分子热传导很小，热丝引线自己的热传导和热辐射引起的热量减小占主导地位，这两部分与压强无关。

热电偶规管及其电路原理

热阴极电离真空计

原理：电子与气体分子碰撞引起分子电离，形成电子和正离，电子最终被加速极收集，正离子被收集极接收形成离子流：

I+ = kIe p = cp
其中，k称为电离计的灵敏度，是单位电子电流、单位压强下的离子流。
测量范围：1.33×10-1 ～1.33×10-5 Pa

测量下限：高速电子打到加速极G → G产生软x射线 →软x射线射向收集极c → 收集极c产生光电发射 → 产生电子流Ix → Ix与I+方向相反，与压强无关。

B—A真空计 (超高真空熱阴极电离计)

50年代初，Bayard 和Alpert经过改动电离规，减小光电流，减小受照面积，制成B-A规，收集极面积减小了100—1000倍，测量下限也降低100—1000倍。

Ф0.2mm的钨丝测量下限可达10-8 ~10-9 pa

Ф4 μm 的钨丝测量下限可达10-10 pa

B-A真空规管
1. 离子收集极；2. 加速极（栅极）3. 阴极灯丝；4. 外壳

纳米防水网：/