易能纳米-一种真空镀膜转架结构

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2022-08-08 13:26:36

择要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜转架结构，包括基座及设置于基座的转轴，所述转轴的上部设置有至少一个支架，所述支架设置有效于承载工件的辅助机构，还包括用于驱动所述转轴的驱动装配；行使本转架结构，将工件挂载于辅助机构上，驱动装配驱动转轴转动，从而使工件能够实现全方位的镀膜，本转架的结构简单、控制方便。
申请人：广东易能纳米科技有限公司
地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人：肖桥兵
主分类号： C23C14/50(2006.01)I
分类号： C23C14/50(2006.01)I

择要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜转架结构，包括基座及设置于基座的转轴，所述转轴的上部设置有至少一个支架，所述支架设置有效于承载工件的辅助机构，还包括用于驱动所述转轴的驱动装配；行使本转架结构，将工件挂载于辅助机构上，驱动装配驱动转轴转动，从而使工件能够实现全方位的镀膜，本转架的结构简单、控制方便。

申请人： 广东易能纳米科技有限公司

地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室

发明(设计)人： 肖桥兵

主分类号： C23C14/50(2006.01)I

分类号： C23C14/50(2006.01)I

法律状况

2015-11-18	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种真空镀膜转架结构，包括基座（1）及设置于基座（1）的转轴（11），其特性在于：所述转轴（11）的上部设置有至少一个支架（2），所述支架（2）设置有效于承载工件的辅助机构（3），还包括用于驱动所述转轴（11）的驱动装配（4）。

公开号	204779792U

公开日	2015-11-18

专利代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215

代理人	张明

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

进入国家日期