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易能纳米-一种真空镀膜转架结构

WaterOff
2022-08-08 13:26:36
择要:本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,公开了一种真空镀膜转架结构,包括基座及设置于基座的转轴,所述转轴的上部设置有至少一个支架,所述支架设置有效于承载工件的辅助机构,还包括用于驱动所述转轴的驱动装配;行使本转架结构,将工件挂载于辅助机构上,驱动装配驱动转轴转动,从而使工件能够实现全方位的镀膜,本转架的结构简单、控制方便。
申请人: 广东易能纳米科技有限公司
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人: 肖桥兵
主分类号: C23C14/50(2006.01)I
分类号: C23C14/50(2006.01)I

 

  • 法律状况

2015-11-18  授权
 

注:本法律状况信息仅供参考,即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项  一种真空镀膜转架结构,包括基座(1)及设置于基座(1)的转轴(11),其特性在于:所述转轴(11)的上部设置有至少一个支架(2),所述支架(2)设置有效于承载工件的辅助机构(3),还包括用于驱动所述转轴(11)的驱动装配(4)。
 
公开号  204779792U
 
公开日  2015-11-18
 
专利代理机构  东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215
 
代理人  张明
 
颁证日  
 
优先权  
 
国际申请  
 
国际宣布  
 
进入国家日期  

 

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