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易能纳米-一种真空镀膜机用密封结构

WaterOff
2022-08-08 13:27:01
择要:本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域,详细涉及一种真空镀膜机用密封结构,包括真空炉、设置于真空炉内的挂架、以及固定于真空炉下方的用于驱动挂架旋转的电机,电机包括转轴,真空炉的底部固定有底板,底板的中部开设有通孔,转轴的顶部穿过通孔并与挂架的底部固定连接,转轴与通孔的连接处设置有密封件,密封件由上到下依次设置有第一密封圈、第一轴承、支持环、第二轴承和第二密封圈。本实用新型的密封结构通过在转轴与通孔的连接处设置密封件,密封件由上到下依次设置有第一密封圈、第一轴承、支持环、第二轴承和第二密封圈,其密封结果好,使得真空炉抽真空结果好,生产服从高;且镀膜结果好,制得的制品良品率高。
申请人: 广东易能纳米科技有限公司
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人: 肖桥兵
主分类号: C23C14/56(2006.01)I
分类号: C23C14/56(2006.01)I

 

  • 法律状况

2015-11-18  授权
 

注:本法律状况信息仅供参考,即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项  一种真空镀膜机用密封结构,其特性在于:包括真空炉、设置于真空炉内的挂架、以及固定于真空炉下方的用于驱动挂架旋转的电机,电机包括转轴,真空炉的底部固定有底板,底板的中部开设有通孔,转轴的顶部穿过通孔并与挂架的底部固定连接,转轴与通孔的连接处设置有密封件,密封件由上到下依次设置有第一密封圈、第一轴承、支持环、第二轴承和第二密封圈。
 
公开号  204779794U
 
公开日  2015-11-18
 
专利代理机构  东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215
 
代理人  李玉平
 
颁证日  
 
优先权  
 
国际申请  
 
国际宣布  
 
进入国家日期  

 

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