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荣坚五金- 一种纳米镀膜设备进料装配

WaterOff
2022-08-08 13:35:30
择要: 本实用新型公开了一种纳米镀膜设备进料装配,属于真空镀膜技术领域。该装配,输气管路前端与工艺气体管路相连通,后端与反应腔室相连通,蒸发容器安装于输气管路内;化学单体进料管安装于输气管路和蒸发容器上部,且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部;所述蒸发容器底部连接有电热管,电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。该装配升温速度快,可充分保证单体加热汽化的工作稳固性,加热方式便捷可靠,同时行使工艺气体的气流,指导单体蒸汽进入反应腔室,可避免单体蒸汽在蒸发容器内和管路内密度过高,有用降低化学单体在汽化区域聚合的可能性,避免出现管路堵塞,降低设备的维护成本,增长设备量产稳固性
申请人: 无锡荣坚五金工具有限公司
地址: 江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人: 宗坚
主分类号: C23C14/24(2006.01)I
分类号: C23C14/24(2006.01)I B05B5/16(2006.01)I
法律状况  
2017/7/28  授权
   
注:本法律状况信息仅供参考,即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息  
主权项 1.一种纳米镀膜设备进料装配,其特性在于,包括反应腔室(1)、蒸发容器(2)、电热管 (3)、输气管路(4)、工艺气体管路(5)和化学单体进料管(6);所述输气管路(4)前端与工艺气体管路(5)相连通,后端与反应腔室(1)相连通;所述蒸 发容器(2)安装于输气管路(4)内;所述化学单体进料管(6)安装于输气管路(4)和蒸发容器(2)上部,且其下端伸入蒸发 容器内部,其上端伸出输气管路外部;所述蒸发容器底部连接有电热管(3),且电热管伸入 蒸发容器底部的U型槽内。
   
   
   
公开号  206359604U
   
公开日  2017-07-28
   
专利代理机构 大连理工大学专利中间  21200
   
代理人 梅洪玉
   
颁证日  
   
优先权  
   
国际申请  
   
国际宣布  
   
进入国家日期  
   
进入国家日期  

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