荣坚五金-一种改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装配

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2022-08-08 13:35:50

择要：	本实用新型公开了一种改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装配，属于真空镀膜技术领域。该装配中，高频电源与反应腔室连接，电极与高频电源连接并安装于反应腔室内部，化学单体管路和工艺气体管路与反应腔室连通；化学单体蒸汽和工艺气体可通过管路通入反应腔室，通过高频电源电极放电产生等离子体进行化学气相沉积，形成聚合物涂层。本实用新型通过电极边缘采用边缘卷圆或者在电极的边缘拼接、焊接、铆接、螺纹装置圆管、元棒或者定制型材的方法，可消弭电极边缘电场较强造成的等离子体密度较大的征象；同时采用本实用新型设计的电极经等离子体探针检测，放电电场均匀度大幅改善，同批次工件镀膜厚度更加均匀，镀膜质量明显进步。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	C23C16/513(2006.01)I
分类号：	C23C16/513(2006.01)I
法律状况
2017/7/28	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
主权项	1.一种改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装配，其特性在于，包括反应腔室(1)、高频电源(2)、电极(3)、化学单体管路(4)和工艺气体管路(5)；所述高频电源(2)与反应腔室(1)连接，电极(3)与高频电源(2)连接并安装于反应腔室 (1)内部，所述化学单体管路(4)和工艺气体管路(5)与反应腔室(1)连通；所述的电极(3)两端边缘采用边缘卷圆或者电极(3)两端边缘拼接、焊接、铆接或螺纹装置圆管、圆棒或者定制型材。

公开号	206359612U

公开日	2017-07-28

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权

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国际宣布

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