易能纳米-一种聚对二甲苯有机靶的制备方法

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2022-08-08 13:39:44

择要：本发明涉及镀膜工艺技术领域，尤其是涉及一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，本发明制备的聚对二甲苯有机靶，外观致密光滑，密度达到聚对二甲苯的理论密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升华时，靶材中的氧及水份的影响极小，用于镀膜生产，生产品质稳固，并且一次替换靶材可以使用1个月左右时间，无需频繁换靶，节约镀膜周期；工艺简单，投资成本低，节能、环保。
申请人：广东易能纳米科技有限公司
地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人：吴子豹
主分类号： C23C16/448(2006.01)I
分类号： C23C16/448(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

择要：本发明涉及镀膜工艺技术领域，尤其是涉及一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，本发明制备的聚对二甲苯有机靶，外观致密光滑，密度达到聚对二甲苯的理论密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升华时，靶材中的氧及水份的影响极小，用于镀膜生产，生产品质稳固，并且一次替换靶材可以使用1个月左右时间，无需频繁换靶，节约镀膜周期；工艺简单，投资成本低，节能、环保。

申请人： 广东易能纳米科技有限公司

地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室

发明(设计)人： 吴子豹

主分类号： C23C16/448(2006.01)I

分类号： C23C16/448(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律状况

2016-08-24	授权

2014-10-29	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20140626

2014-10-08	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特性在于：该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，详细步骤如下：步聚1）、将聚对二甲苯粉称重并加入真空炉中的加热槽里；步骤2）、将加工好的靶座安装在真空炉中；步骤3）、将真空炉抽真空到达1Torr，进行真空等离子清洗，将靶座外观的水汽及氧去除，并产生肯定粗化结果，增长靶座外观的结合力；步骤4）、将真空炉抽真空到达0.1Torr，然后通入10sccm的氩气珍爱，真空炉升温至150摄氏度，将粉体聚对二甲苯粉升华，同时将靶座通过水冷控制在35摄氏度以内，以便升华的聚对二甲苯沉积在靶座上，真空沉积时间40小时，制备出聚对二甲苯有机靶。

公开号	104087911B

公开日	2016-08-24

专利代理机构	东莞市创益专利事务所 44249

代理人	李卫平

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

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