易能纳米-一种纳米材料真空镀膜机

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2022-08-08 13:40:04

择要：本发明涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装配，所述镀膜装配包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵，所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接，所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通，所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀，本发明结构简单、紧凑，密封性强，镀膜结果好，薄膜不宜脱落，镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。
申请人：广东易能纳米科技有限公司
地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人：肖桥兵
主分类号： C23C14/00(2006.01)I
分类号： C23C14/00(2006.01)I C23C14/24(2006.01)I

择要：本发明涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装配，所述镀膜装配包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵，所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接，所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通，所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀，本发明结构简单、紧凑，密封性强，镀膜结果好，薄膜不宜脱落，镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。

申请人： 广东易能纳米科技有限公司

地址： 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室

发明(设计)人： 肖桥兵

主分类号： C23C14/00(2006.01)I

分类号： C23C14/00(2006.01)I C23C14/24(2006.01)I

法律状况

2017-08-04	授权

2015-09-30	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/00申请日:20150616

2015-09-02	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种纳米材料真空镀膜机，其特性在于：包括用于将纳米镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉（1）、对气体进行裂解反应的裂解炉（2）以及对产品进行镀膜的镀膜装配，所述镀膜装配包括真空炉（3）、对真空炉（3）内进行抽真空的真空泵（4）以及对真空炉（3）内进行加压的加压泵，所述真空炉（3）分别通过管道与真空泵（4）和加压泵连接，所述蒸发炉（1）、裂解炉（2）和真空炉（3）之间通过管道连通，所述裂解炉（2）和真空炉（3）之间还设置有气动阀（6）。

公开号	104878345A

公开日	2015-09-02

专利代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215

代理人	何树良

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

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