荣坚五金-一种等离子体聚合涂层装配

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2022-08-08 13:41:53

择要：	一种等离子体聚合涂层装配，属于等离子体工程技术领域，该装配真空室侧部的室体内壁任一横截面为雷同直径的圆或雷同边长的正多边形，正多边形边数至少为6边；真空室内壁处安装有多孔电极，多孔电极与高频电源连接，真空室外壁上密封安装有至少两个放电腔，放电腔与真空室内壁连接处设置有至少两层金属栅网，真空室内的中间轴上竖直安装有尾气收集管，真空室内设置有旋转置物架，所述旋转置物架的旋转轴与真空室的中间轴同轴，旋转置物架上放置待处理基材。该实用新型的装配采用中间轴对称真空室结构保持空间聚合反应活性物种浓度的稳固性，具有真空室的容积大，单次处理批量大，处理服从高、成本低、批处理均匀性优秀等好处。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	B05B5/08(2006.01)I
分类号：	B05B5/08(2006.01)I B05B15/12(2006.01)I
法律状况
2017/7/7	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
主权项	1.一种等离子体聚合涂层装配，包括真空室，其特性在于：所述真空室(1)侧部的室体内壁任一横截面为雷同直径的圆或雷同边长的正多边形，所述正多边形边数至少为6边；所述真空室(1)内靠近真空室(1)的内壁处安装有多孔电极(2)，所述多孔电极(2)为与真空室内壁保持间距的多孔弧面结构，所述多孔电极与高频电源(3)连接，所述真空室外壁上密封安装有至少两个放电腔(4)；所述放电腔与真空室内壁连接处设置有至少两层金属栅网(5)，所述金属栅网与真空室内壁绝缘，金属栅网与脉冲电源(6)连接，所述放电腔(4)内设有放电源(7)，放电源连接供电源(8)，所述放电腔连接有载体气体管路(9)，载体气体管路另一端连接到载体气体源，单体蒸汽管路(10)连接到真空室内，且其出口位于放电腔(4)前方，单体蒸汽管路另一端连接到单体蒸汽源；所述真空室内设置有旋转置物架(12)，所述旋转置物架的旋转轴与真空室的中间轴同轴，旋转置物架上放置待处理基材。

公开号	206304929U

公开日	2017/7/7

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权

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国际宣布

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