荣坚五金-一种纳米镀膜设备旋转货架装配

WaterOff

2022-08-08 13:42:14

择要：	本实用新型一种纳米镀膜设备旋转货架装配，属于真空镀膜技术领域。该装配中，包括反应腔室，所述反应腔室内设置有旋转货架，所述旋转货架的中间轴为中空管结构，且中空管上设置有通孔，反应腔室顶部安装有抽气口，抽气口与中空管在统一轴线上且位于其上方，所述旋转货架底部圆盘上安装内齿圈，旋转电机轴上安装齿轮，工件放置在旋转货架的置物层上。本实用新型装配在镀膜过程中货架持续旋转，避免出现因各区域化学单体气体密度不均匀造成固定区域的工件涂层厚度不均匀征象；通过每层货架对应中空管上的通孔，可以使进入腔室内的化学单体气体形成沿每层货架径憧憬通孔位置扩散的趋势，使得从腔壁到中空管区域化学单体密度更加均匀。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	C23C16/458(2006.01)
分类号：	C23C16/458(2006.01) C23C16/455(2006.01)
法律状况
2017/6/6	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
主权项	1.一种纳米镀膜设备旋转货架装配，其特性在于：包括反应腔室(1)，所述反应腔室(1)内设置有旋转货架(2)，所述旋转货架(2)的中间轴为中空管结构，且中空管上设置有通孔，反应腔室顶部安装有抽气口，抽气口与中空管在统一轴线上且位于其上方，抽气口安装有导向套，且导向套内径比中空管外径大，所述旋转货架(2)底部圆盘上安装内齿圈，旋转电机(6)轴上安装齿轮，工件(8)放置在旋转货架(2)的置物层上，真空泵(3)通过真空管路与反应腔室(1)腔体抽气口连接，进气阀(4)通过进气管路与反应腔室(1)腔体进气口连接，加料阀(5)通过加料管路与反应腔室(1)腔体加料口连接，射频电源(7)通过导线与反应腔室(1)腔体内电极连接。



公开号	206219660U

公开日	2017-06-06

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权

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国际宣布

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