欢迎访问纳米防水网官方网站!

防水专利
News

荣坚五金-一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装配

WaterOff
2022-08-08 13:43:06
择要: 一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装配,属于等离子体技术领域。在该装配中,主真空室壁上安装多个放电腔,在每个放电腔通往主真空室的开口处安装一个平面接地栅网;在每个放电腔内安装多孔电极板,多孔电极板与栅网平行并保持间隙,通过绝缘支架固定在放电腔壁上,并通过导线连接小功率高频电源,其上均匀分布通孔;载体气体管路和单体蒸汽管路分别连接到每个放电腔内,真空排气管连接到主真空室内,待处理的基材放在主真空室内部。本实用新型装配具有等离子体空间分布均匀,批处理产品质量均一性好,等离子体能量、密度较低,化学单体结构不易被过度破坏,形成的聚合物涂层质量好,各放电腔能够靠近安装,互相之间不干扰等好处。
申请人: 无锡荣坚五金工具有限公司
地址: 江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人: 宗坚
主分类号: B05B5/10(2006.01)
分类号: B05B5/10(2006.01) B05B5/08(2006.01)
法律状况  
2017/6/6  授权
   
注:本法律状况信息仅供参考,即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息  
主权项 1.一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装配,其特性在于:在主真空室(1)壁上安装多个放电腔(2),在每个放电腔(2)通往主真空室(1)的开口处安装一个平面接地栅网(3),在每个放电腔(2)内靠近栅网(3)处安装多孔电极板(4),多孔电极板(4)与栅网(3)平行并保持间隙,多孔电极板(4)通过绝缘支架(10)固定在放电腔(2)壁上,多孔电极板(4)通过导线(11)连接小功率高频电源(5),多孔电极板(4)上均匀分布通孔,载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)分别连接到每个放电腔(2)内,载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)另一端分别连接到载体气体源和单体蒸汽源,真空排气管(8)连接到主真空室(1)内,真空排气管另一端连接到真空泵,待处理的基材(9)放在主真空室(1)内部,且位于放电腔(2)外部。
   
公开号 206215404U
   
公开日 2017/6/6
   
专利代理机构 大连理工大学专利中间  21200
   
代理人 梅洪玉
   
颁证日  
   
优先权  
   
国际申请  
   
国际宣布  
   
进入国家日期  
   
进入国家日期  

返回列表