HZO-含构造成阻止热解管和相邻元件之间传热的导管的材料处理体系

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2022-08-08 13:57:43

择要：批露了一种材料处理体系，其阻止从其热解管到一种或多种相邻元件例如蒸发腔室或沉积腔室的红外辐射传输。这种材料处理体系可包含具有非线性元件的至少一根导管。这种导管的非线性元件可排除穿过导管长度的视线的存在。非线性元件还可具有外形，所述外形使得气体或蒸气在有很少或没有湍流的情况下贱动经过所述非线性元件，在其中材料处理体系的部分或悉数不含阀门的实施方式中，这可使气体或蒸气自由地流经材料处理体系，或者至少自由地流经材料处理体系的不含阀门的部分。
申请人： HZO股份有限公司
地址：美国犹他州
发明(设计)人： J·德姆普斯特 Y·恽 M·索伦森
主分类号： C23C16/00(2006.01)I
分类号： C23C16/00(2006.01)I

择要：批露了一种材料处理体系，其阻止从其热解管到一种或多种相邻元件例如蒸发腔室或沉积腔室的红外辐射传输。这种材料处理体系可包含具有非线性元件的至少一根导管。这种导管的非线性元件可排除穿过导管长度的视线的存在。非线性元件还可具有外形，所述外形使得气体或蒸气在有很少或没有湍流的情况下贱动经过所述非线性元件，在其中材料处理体系的部分或悉数不含阀门的实施方式中，这可使气体或蒸气自由地流经材料处理体系，或者至少自由地流经材料处理体系的不含阀门的部分。

申请人： HZO股份有限公司

地址： 美国犹他州

发明(设计)人： J·德姆普斯特 Y·恽 M·索伦森

主分类号： C23C16/00(2006.01)I

分类号： C23C16/00(2006.01)I

法律状况

2016-12-21	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种材料沉积体系，其包含:蒸发器；传输蒸气的导管，其包含与所述蒸发器连通的第一端部,所述传输蒸气的导管从所述蒸发器延长；热解器，其包含与所述传输蒸气的导管的第二端部连通的第一端部；传输反应性物质的导管，其包含与所述热解器第二端部连通的第一端部；以及沉积腔室，所述沉积腔室与所述传输反应性物质的导管的第二端部连通,所述传输蒸气的导管和所述传输反应性物质的导管中的至少一种包含具有基本上S形外形的非线性元件，所述非线性元件至少部分地排除穿过所述传输蒸气的导管和/或所述传输反应性物质的导管团体长度的视线。

公开号	106255775A

公开日	2016-12-21

专利代理机构	上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人	林高锋樊云飞

颁证日

优先权	2014.01.28 US 61/932,769

国际申请	2015-01-28 PCT/US2015/013329

国际宣布	2015-08-06 WO2015/116703 EN

进入国家日期	2016.09.27