佛山思博睿科技一种多路气体切换供气而总供气量恒定的真空反应体系

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2022-08-08 14:00:04

择要：本发明公开一种无论多路气路如何切换，都可以保证流量器流出气量稳固的真空反应体系，包括有多条主气路和真空反应腔，每条主气路与真空反应腔连接，在主气路上沿供气方向依次设有流量器和主路隔膜阀，真空反应腔的出口管路上设有真空规、真空蝶阀和真空泵，在每条主气路上流量器和主路隔膜阀之间引出一条旁路，旁路接驳在真空反应腔和真空规之间的出口管道上，每条旁路都设有旁路隔膜阀，主路隔膜阀、旁路隔膜阀和真空蝶阀受PLC控制器控制开关。
申请人：佛山市思博睿科技有限公司
地址： 528226 广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地核心园区内C区7座第五层(1-6轴)厂房
发明(设计)人：梁磊
主分类号： B01J3/04(2006.01)I
分类号： B01J3/04(2006.01)I B01J3/02(2006.01)I B01J3/00(2006.01)I

择要：本发明公开一种无论多路气路如何切换，都可以保证流量器流出气量稳固的真空反应体系，包括有多条主气路和真空反应腔，每条主气路与真空反应腔连接，在主气路上沿供气方向依次设有流量器和主路隔膜阀，真空反应腔的出口管路上设有真空规、真空蝶阀和真空泵，在每条主气路上流量器和主路隔膜阀之间引出一条旁路，旁路接驳在真空反应腔和真空规之间的出口管道上，每条旁路都设有旁路隔膜阀，主路隔膜阀、旁路隔膜阀和真空蝶阀受PLC控制器控制开关。

申请人： 佛山市思博睿科技有限公司

地址： 528226 广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地核心园区内C区7座第五层(1-6轴)厂房

发明(设计)人： 梁磊

主分类号： B01J3/04(2006.01)I

分类号： B01J3/04(2006.01)I B01J3/02(2006.01)I B01J3/00(2006.01)I