·上海稷以科技-导气杆、真空腔和真空等离子体设备

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2022-08-08 14:01:45

摘要：本发明涉及真空等离子体设备领域，公开了一种导气杆、真空腔和真空等离子体设备，导气杆设置于真空等离子体设备的真空腔内，其外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口，外壳上还开有若干个导气孔；气体入口与真空腔的进气孔相连通；气体经进气孔和气体入口进入中空腔体内，通过导气孔进入真空腔，再从真空腔的抽气口中流出。在真空腔内设置该导气杆能够改进真空腔的气体均匀性。
申请人：上海稷以科技有限公司
地址： 200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
发明(设计)人：季文竹彭帆
主分类号： B08B7/00(2006.01)I
分类号： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

摘要：本发明涉及真空等离子体设备领域，公开了一种导气杆、真空腔和真空等离子体设备，导气杆设置于真空等离子体设备的真空腔内，其外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口，外壳上还开有若干个导气孔；气体入口与真空腔的进气孔相连通；气体经进气孔和气体入口进入中空腔体内，通过导气孔进入真空腔，再从真空腔的抽气口中流出。在真空腔内设置该导气杆能够改进真空腔的气体均匀性。

申请人： 上海稷以科技有限公司

地址： 200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

发明(设计)人： 季文竹彭帆

主分类号： B08B7/00(2006.01)I

分类号： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

法律状态

2017-08-08	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20170516

2017-07-14	公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	1.一种导气杆，设置于真空等离子体设备的真空腔(1)内，其特征在于：所述导气杆(4)的外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口(3)，所述外壳上还开有若干个导气孔(4a)；所述气体入口(3)与所述真空腔(1)的进气孔(2)相连通；气体经所述进气孔(2)和所述气体入口(3)进入所述中空腔体内，通过所述导气孔(4a) 进入所述真空腔(1)，再从所述真空腔(1)的抽气口(5)中流出。

公开号	106944420A

公开日	2017-07-14

专利代理机构	上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人	侯莉

颁证日

优先权

国际申请

国际公布

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