欢迎访问纳米防水网官方网站!

防水专利
News

·上海稷以科技-导气杆、真空腔和真空等离子体设备

WaterOff
2022-08-08 14:01:45
摘要:本发明涉及真空等离子体设备领域,公开了一种导气杆、真空腔和真空等离子体设备,导气杆设置于真空等离子体设备的真空腔内,其外壳围合形成中空腔体,端部设置有气体入口,外壳上还开有若干个导气孔;气体入口与真空腔的进气孔相连通;气体经进气孔和气体入口进入中空腔体内,通过导气孔进入真空腔,再从真空腔的抽气口中流出。在真空腔内设置该导气杆能够改进真空腔的气体均匀性。
申请人: 上海稷以科技有限公司
地址: 200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
发明(设计)人: 季文竹 彭帆
主分类号: B08B7/00(2006.01)I
分类号: B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I
  • 法律状态

2017-08-08  实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20170516
 
2017-07-14  公开
 

注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项  1.一种导气杆,设置于真空等离子体设备的真空腔(1)内,其特征在于:
所述导气杆(4)的外壳围合形成中空腔体,端部设置有气体入口(3),所述外壳上还开 有若干个导气孔(4a);
所述气体入口(3)与所述真空腔(1)的进气孔(2)相连通;
气体经所述进气孔(2)和所述气体入口(3)进入所述中空腔体内,通过所述导气孔(4a) 进入所述真空腔(1),再从所述真空腔(1)的抽气口(5)中流出。
 
公开号  106944420A
 
公开日  2017-07-14
 
专利代理机构  上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
 
代理人  侯莉
 
颁证日  
 
优先权  
 
国际申请  
 
国际公布  
 
进入国家日期  

 

返回列表