昆山彰盛奈米-聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构

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2022-08-08 14:06:39

摘要：本实用新型公开了一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于：在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的侧壁上设置有腔室法兰，所述真空腔室安装有腔室法兰的一侧侧壁与主机侧壁相连接，所述主机内的输送管穿过主机侧壁并通过管口法兰与真空腔室侧壁配合固定，且输送管伸入到滚桶内。本实用新型解决了现有技术中聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，主机和真空腔室连接后密封性能较差，安装不方便的问题，提供了一种结构简单，主机和真空腔室平行度较好，真空腔室密封性能较好的聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构。
申请人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江苏省昆山市金阳东路8号
发明(设计)人：徐志淮
主分类号： C23C16/00(2006.01)I
分类号： C23C16/00(2006.01)I C23C16/44(2006.01)I

摘要：本实用新型公开了一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于：在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的侧壁上设置有腔室法兰，所述真空腔室安装有腔室法兰的一侧侧壁与主机侧壁相连接，所述主机内的输送管穿过主机侧壁并通过管口法兰与真空腔室侧壁配合固定，且输送管伸入到滚桶内。本实用新型解决了现有技术中聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，主机和真空腔室连接后密封性能较差，安装不方便的问题，提供了一种结构简单，主机和真空腔室平行度较好，真空腔室密封性能较好的聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构。

申请人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江苏省昆山市金阳东路8号

发明(设计)人： 徐志淮

主分类号： C23C16/00(2006.01)I

分类号： C23C16/00(2006.01)I C23C16/44(2006.01)I

法律状态

2012-11-21	授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于：在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的一侧墙板直接固定在主机侧壁上；所述真空腔室通过腔室法兰与主机侧壁上的墙板相连接。

公开号	202543315U

公开日	2012-11-21

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