昆山彰盛奈米-聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构

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2022-08-08 14:06:21

摘要：本实用新型公开了一种聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构，其特征在于：所述沉积装置由沉积滚筒、沉积架、沉积笼三部分组成，沉积笼固定于沉积架后置于沉积滚筒内。其中沉积架为圆柱形框架，在圆柱形沉积架上下底面之间均匀设置有至少四个沉积笼，安装时平行于圆柱形沉积架高度方向。本实用新型解决了现有技术中沉积装置沉积效率低，电机设备容易损坏，产品厚度均匀性不一致，产品成膜品质较差和产量偏低的问题。提供了一种结构简单，使用方便，可大大提高滚筒内产品沉积效率，有效地保护电机设备，同时增加空间利用率从而提高产量，并解决了产品厚度均匀性不一致，产品成膜品质较差等问题的聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构。
申请人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江苏省昆山市金阳东路8号
发明(设计)人：徐志淮
主分类号： C23C16/448(2006.01)I
分类号： C23C16/448(2006.01)I

摘要：本实用新型公开了一种聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构，其特征在于：所述沉积装置由沉积滚筒、沉积架、沉积笼三部分组成，沉积笼固定于沉积架后置于沉积滚筒内。其中沉积架为圆柱形框架，在圆柱形沉积架上下底面之间均匀设置有至少四个沉积笼，安装时平行于圆柱形沉积架高度方向。本实用新型解决了现有技术中沉积装置沉积效率低，电机设备容易损坏，产品厚度均匀性不一致，产品成膜品质较差和产量偏低的问题。提供了一种结构简单，使用方便，可大大提高滚筒内产品沉积效率，有效地保护电机设备，同时增加空间利用率从而提高产量，并解决了产品厚度均匀性不一致，产品成膜品质较差等问题的聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构。

申请人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江苏省昆山市金阳东路8号

发明(设计)人： 徐志淮

主分类号： C23C16/448(2006.01)I

分类号： C23C16/448(2006.01)I

法律状态

2012-07-25	授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构，包括沉积架和沉积滚筒，其特征在于：所述沉积架为圆柱形框架，在圆柱形沉积架上下底面之间横向均匀设置有至少四个沉积笼，所述沉积笼由若干个冲孔网板依次拼接组成，沉积架置于沉积滚筒内。

公开号	202347095U

公开日	2012-07-25

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