择要： 本发明一种纳米镀膜设备旋转货架装配，属于真空镀膜技术领域。该装配中，包括反应腔室，所述反应腔室内设置有旋转货架，所述旋转货架的中间轴为中空管结构，且中空管上

择要： 一种栅控等离子体引发气相聚合外观涂层的装配及方法，属于等离子体技术领域，用于在基材外观制备聚合物涂层。其特性是，用金属栅网将真空室分隔为放电腔和处理室两部分

择要： 一种梯度递减结构防液涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域。该方法中：首先将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体延续抽真空，将反应腔体内的真空

择要： 一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装配，属于等离子体技术领域，用于在基材外观制备聚合物涂层。该装配中固定金属直杆通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真

择要： 一种基材活动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法，属于等离子体技术领域，设备包括：电极、真空排气装配、气体管路、基材固定装配，基材固定装配可以在活动机构的

择要： 一种防尘外观的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法中，将基材置于反应腔体内，延续抽真空，通入惰性气体或氮气；通入单体蒸汽进行化学气相沉积，制备致

择要： 一种具有多层结构防液涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法中：将基材置于反应腔体内，延续抽真空，通入惰性气体或氮气，分别通入第一单体蒸汽、第

择要： 一种防水耐电击穿涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法中，将基材置于反应腔体内，延续抽真空，通入惰性气体或氮气；通入单体蒸汽开启等离子体放电

择要： 一种低粘附、耐蚀涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法，将基材置于反应腔体内，延续抽真空，通入惰性气体；通入单体蒸汽开启等离子体放电，进行化

择要： 一种有害气体排气控制装配，属于抽真空技术领域。该有害气体排气控制装配，包括真空泵，波纹管，排气管路Ⅰ，排气管路Ⅱ，支排气管路Ⅰ，支排气管路Ⅱ，过滤筒和电动球